金属材料在半导体制造中的‘双刃剑’角色是什么?
在半导体材料的广阔领域中,金属材料扮演着不可或缺但又复杂多面的角色,它们既是连接半导体器件各部分的桥梁,也是影响器件性能的关键因素,一个不可忽视的现象是,金属材料在半导体制造中展现出“双刃剑”的特性。金属材料如钨、铝和铜等,作为导线、栅极和...
在半导体材料的广阔领域中,金属材料扮演着不可或缺但又复杂多面的角色,它们既是连接半导体器件各部分的桥梁,也是影响器件性能的关键因素,一个不可忽视的现象是,金属材料在半导体制造中展现出“双刃剑”的特性。金属材料如钨、铝和铜等,作为导线、栅极和...