微生物学在半导体材料净化中的应用,一场跨学科的‘清洁’革命?
在半导体材料制造的复杂工艺中,如何有效去除表面及内部的污染物一直是行业内的重大挑战,传统方法如化学清洗、物理研磨等虽能取得一定成效,但往往伴随着成本高昂、环境影响大等问题,鲜为人知的是,微生物学领域的一些研究成果正悄然改变这一局面。近年来,...
在半导体材料制造的复杂工艺中,如何有效去除表面及内部的污染物一直是行业内的重大挑战,传统方法如化学清洗、物理研磨等虽能取得一定成效,但往往伴随着成本高昂、环境影响大等问题,鲜为人知的是,微生物学领域的一些研究成果正悄然改变这一局面。近年来,...