等离子体物理学在半导体材料生长中的微妙平衡
在半导体材料的制备过程中，等离子体物理学扮演着至关重要的角色，一个关键问题是：如何在利用等离子体进行材料沉积的同时，避免其带来的高能粒子对材料造成损伤？答案在于精确控制等离子体的参数与状态，通过调整等离子体的密度、温度以及电场强度等参数，可...
在半导体材料的制备过程中，等离子体物理学扮演着至关重要的角色，一个关键问题是：如何在利用等离子体进行材料沉积的同时，避免其带来的高能粒子对材料造成损伤？答案在于精确控制等离子体的参数与状态，通过调整等离子体的密度、温度以及电场强度等参数，可...