激光物理学在半导体材料微纳加工中的应用,如何实现精准操控?
在半导体材料微纳加工的领域中,激光物理学扮演着至关重要的角色,其独特的性质——高亮度、高方向性、高单色性,使得激光成为实现微纳尺度加工的理想工具,如何利用激光物理学实现精准的微纳加工,仍是一个亟待解决的问题。激光的聚焦能力是实现精准加工的关...
在半导体材料微纳加工的领域中,激光物理学扮演着至关重要的角色,其独特的性质——高亮度、高方向性、高单色性,使得激光成为实现微纳尺度加工的理想工具,如何利用激光物理学实现精准的微纳加工,仍是一个亟待解决的问题。激光的聚焦能力是实现精准加工的关...